高溫試驗(yàn)箱的主要技術(shù)特點(diǎn)

    2022-07-06 13:36 林頻儀器
      高溫試驗(yàn)箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、銀酸鋰、玻璃等材料的預(yù)處理烘烤,涂膠后的膠膜烘烤和高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)科研部門(mén),也可用于其他高溫試驗(yàn),如干燥、熱處理、老化等。
    高溫試驗(yàn)箱的主要技術(shù)特點(diǎn)
      高溫試驗(yàn)箱的主要技術(shù)特點(diǎn)是什么?
     
      1、溫度范圍:(環(huán)境溫度+20)℃~200℃(可按客戶要求辦理);
     
      2、加熱時(shí)間:環(huán)境溫度→+200℃≤35min;
     
      3、氮?dú)鈱?dǎo)入:冷卻過(guò)程中打開(kāi)兩個(gè)閥門(mén),保持正壓狀態(tài)。每個(gè)分支配有一個(gè)控制電磁閥和一個(gè)調(diào)節(jié)流量計(jì),在加熱(排氧)過(guò)程中打開(kāi)兩個(gè)閥門(mén),確保氧氣能夠完全排出;
     
      4、冷卻時(shí)間:2000℃~80℃時(shí),約50分鐘;
     
      5、通信功能:S-具有本地和遠(yuǎn)程通信功能的485接口(需要配備集中監(jiān)控軟件),需要占用PC機(jī)的COM口和USB可同時(shí)連接16臺(tái)設(shè)備,累計(jì)電纜長(zhǎng)度最大800m。
     
      安裝現(xiàn)場(chǎng)要求:
     
      1、設(shè)備周圍沒(méi)有強(qiáng)振動(dòng);
     
      2、沒(méi)有強(qiáng)電磁場(chǎng);
     
      3、沒(méi)有易燃、腐蝕性物質(zhì)和粉塵;
     
      4、高溫試驗(yàn)箱設(shè)備周圍有適當(dāng)?shù)氖褂煤途S護(hù)空間:A:不小于60cm;B:不小于120cm;C:不小于60cm;D:不小于120cm。
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