高溫試驗(yàn)箱的主要技術(shù)特點(diǎn)
2022-07-06 13:36 林頻儀器
高溫試驗(yàn)箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、銀酸鋰、玻璃等材料的預(yù)處理烘烤，涂膠后的膠膜烘烤和高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)科研部門(mén)，也可用于其他高溫試驗(yàn)，如干燥、熱處理、老化等。
高溫試驗(yàn)箱的主要技術(shù)特點(diǎn)是什么？
1、溫度范圍：（環(huán)境溫度+20）℃～200℃（可按客戶要求辦理）；
2、加熱時(shí)間：環(huán)境溫度→+200℃≤35min；
3、氮?dú)鈱?dǎo)入：冷卻過(guò)程中打開(kāi)兩個(gè)閥門(mén)，保持正壓狀態(tài)。每個(gè)分支配有一個(gè)控制電磁閥和一個(gè)調(diào)節(jié)流量計(jì)，在加熱(排氧)過(guò)程中打開(kāi)兩個(gè)閥門(mén)，確保氧氣能夠完全排出；
4、冷卻時(shí)間：2000℃～80℃時(shí)，約50分鐘；
5、通信功能：S-具有本地和遠(yuǎn)程通信功能的485接口（需要配備集中監(jiān)控軟件），需要占用PC機(jī)的COM口和USB可同時(shí)連接16臺(tái)設(shè)備，累計(jì)電纜長(zhǎng)度最大800m。
安裝現(xiàn)場(chǎng)要求：
1、設(shè)備周圍沒(méi)有強(qiáng)振動(dòng)；
2、沒(méi)有強(qiáng)電磁場(chǎng)；
3、沒(méi)有易燃、腐蝕性物質(zhì)和粉塵；
4、高溫試驗(yàn)箱設(shè)備周圍有適當(dāng)?shù)氖褂煤途S護(hù)空間：A：不小于60cm；B：不小于120cm；C：不小于60cm；D：不小于120cm。