高溫試驗箱的主要技術特點

2022-07-06 13:36 林頻儀器

　　高溫試驗箱用于半導體制造中硅片、銀酸鋰、玻璃等材料的預處理烘烤，涂膠后的膠膜烘烤和高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示實驗室等生產科研部門，也可用于其他高溫試驗，如干燥、熱處理、老化等。

　　高溫試驗箱的主要技術特點是什么？

　　1、溫度范圍：（環境溫度+20）℃～200℃（可按客戶要求辦理）；

　　2、加熱時間：環境溫度→+200℃≤35min；

　　3、氮氣導入：冷卻過程中打開兩個閥門，保持正壓狀態。每個分支配有一個控制電磁閥和一個調節流量計，在加熱(排氧)過程中打開兩個閥門，確保氧氣能夠完全排出；

　　4、冷卻時間：2000℃～80℃時，約50分鐘；

　　5、通信功能：S-具有本地和遠程通信功能的485接口（需要配備集中監控軟件），需要占用PC機的COM口和USB可同時連接16臺設備，累計電纜長度最大800m。

　　安裝現場要求：

　　1、設備周圍沒有強振動；

　　2、沒有強電磁場；

　　3、沒有易燃、腐蝕性物質和粉塵；

　　4、高溫試驗箱設備周圍有適當的使用和維護空間：A：不小于60cm；B：不小于120cm；C：不小于60cm；D：不小于120cm。